2020年半导体检测设备行业研究报告

  1、LA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者，本文深度分析半导体检测设备市 场并借鉴KLA-Tencor的发展历史，梳理国内相关企业进展并给出投资建议。

  1)芯片制程中检测设备种类多、市场空间大，依照我们测算，预计2020、2021年 全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元。同时我们 判断在检测设备中，缺陷检验测试与量测部分占比分别约为2/3、1/3，则相应2020年全球半导体缺陷检验测试、 量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元，2021年分别约为49、24.5亿美元;中国大陆2020年两者分 别约为10.9、5.5亿美元;2021年分别约为11.7、5.9亿美元。

  2)制程检测设备有不同的分类办法能够 分为:缺陷检验测试、物性量测;光学检测、电子束检测等;有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等。

  1)根据SEMI数据，KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一， 堪称半导体检测设备领域王者，且在所有半导体设备企业中排名第五;其次是应用材料和日立，二者市 占率均超过10%，前三市占率合计达到75%，其他重要企业有Onto(Nanometrics和Rudolph合并而来)、 Nova等。

  2)国内半导体检测设备领域，相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式来进行布局，在部 分细致划分领域已取得较大进展，但总的来看国产化率仍非常低(我们判断在5%以下)，可以留给国内企业 的市场空间和挑战并存。

  从目前国内主要企业中标情况去看，量测部分(如膜厚测量等设备)已有部分企业能够中标长存等，但缺陷检验测试部分中标非常少。

  赛腾股份(Optima)基本的产品为缺陷检验测试设备， 客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业，国内是其未来重点拓展领域，目前国内既有客户包括新晟、 中环、奕斯伟等，未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户。